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■　2015年11月　DPS2015に参加

The 37th International Symposium on Dry Process (DPS2015 2015年11月5-6日、淡路夢舞台 国際会議場）において、ポスター発表を行いました。

田中研究室と共同で開発中であるスパッタリング装置について、スパッタリングに伴う基板へのダメージ評価とZrO2薄膜の作成について得られた成果をまとめ、「Development of low damage sputtering cathode and evaluation of its performance」と題して発表を行いました。

兵庫県立淡路夢舞台国際会議場	ポスター会場の様子
岩田さんとポスター	岩田さんが説明しています
岩田さんが説明しています	口頭発表の会場はこんな感じ
岩田さんと関谷で参加しました